0 товаров на сумму 0 рублей

Отраслевая литература

Все
А
Б
В
Г
Д
Е
Ж
З
И
К
Л
М
Н
О
П
Р
С
Т
У
Ф
Х
Ц
Ч
Ш
Щ
Ы
Э
Ю
Я
873руб.
Количество:

МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники

Акчурин Р.Х., Мармалюк А.А.

Издательство: Техносфера
Год: 2020
ISBN: 978-5-94836-521-3
Ограничение по возрасту: 2023-05-15

В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) - одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования для реализации МОСГЭ и методов контроля роста эпитаксиальных слоев in situ, затронуты вопросы моделирования процессов.
Практические аспекты реализации метода подробно рассмотрены на примере формирования эпитаксиальных структур полупроводников AIIIBV, AIIBVI и твердых растворов на их основе - основных материалов современной оптоэлектроники и ИК-техники. Значительное внимание уделено формированию наноразмерных эпитаксиальных структур и гетероструктур на основе нитридов элементов III группы, технология которых получила стремительное развитие в последние годы. Рассмотрены вопросы адаптации метода МОСГЭ к получению ряда новых материалов электронной техники.
Книга предназначена специалистам в области технологии полупроводниковых материалов, может быть полезна аспирантам и студентам соответствующих специальностей.

Книги по Вашему запросу
Для использования функций сайта необходимо зарегистрироваться или авторизоваться
Подпишитесь на наши рассылки!
E-mail*:
ФИО:
Подпишитесь на наши рассылки!

Письмо с подтверждением отправлено на Ваш email.

логин
пароль
КАТЕГОРИЯ
НАЗВАНИЕ
АВТОР
ISBN
ИЗДАТЕЛЬСТВО
Цена от
до
Год от
до
© 2007-2021, Издательский дом «Рост». Все права защищены.
12+